» Single Wafer Processing von 2" - 12"
» Batch Processing von 2" - 6"
» Andere Substratformate im Rahmen der o.g. Größen
in situ Parameter Variabilität
» Lage Anode : Kathode
» Strömungsformung
» unabhängige Bestromung
   unterschiedlicher Abscheidungsareale

Minimierung der Elektrolytmenge
» ressourceneffizient
» weniger umweltbelastend
» kostensparend

modularer Aufbau
» leicht zerlegbar
» einfach zu reinigen
» kundenfreundlicher Teileaustausch

klare Materialdefinition
» einfache Trennbarkeit
» umweltschonende Entsorgung
» mögliche Wiederverwertbarkeit