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» Sicheres Halten und Dichten
mit 3 mm Randausschluss
» Kontaktierung umlaufend
im geschützten Raum
» Einfacher Substratwechsel
in Sekunden
» Waferdicken Toleranz
+/- 100 µm
» Ausgleich größerer Toleranzen
durch Einsatz von Distanzscheiben