» Sicheres Halten und Dichten mit max. 3 mm Randausschluss » Einfacher Substratwechsel in Sekunden » Waferdicken Toleranz +/- 100 µm » Ausgleich größerer Toleranzen durch Einsatz von Distanzscheiben » Elektrochemisches Ätzen mit Substratbestromung, Gegen- und Referenzelektrode