» Sicheres Halten und Dichten mit max. 3 mm Randausschluss
» Einfacher Substratwechsel in Sekunden
» Waferdicken Toleranz +/- 100 µm
» Ausgleich größerer Toleranzen durch Einsatz von Distanzscheiben
» Elektrochemisches Ätzen mit Substratbestromung, Gegen- und Referenzelektrode